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材料工学ソリューション分野のグローバル先導企業であるApplied Materials社が半導体の新技術の発見と開発、商用化を加速する革新的なプラットフォームAIxを発表した。


AIxプラットフォームにはマシンラーニングとAIアルゴリズムを基盤で膨大なデータを保存及び分析するためのコンピューティングリソースが含まれる。

アクショナブルインサイトアクセラレータ(Actionable Insight Accelerator)を意味するAIxは、エンジニアが半導体工程をリアルタイムで把握し、ウェハから個別チップまで数百万回の測定を経て数千個の工程変数を最適化できるようにして「PPACt（電力•性能•空間コスト•発売所要期間）」を向上する。

AIxプラットフォームはApplied Materials社の全工程装備、電子ビーム(eBeam)計測システム、検査システムに互換されて、ラボ(Lab)から量産施設(Fab)まで拡張できる。
AIx はエンジニアに研究開発過程の革新的レシピをそのまま複製させる力量を提供することで大量生産(HVM)を加速する。

AIx はロジック半導体とメモリ半導体の両方でPPACt 改善に寄与して、現在もう既に業界で使用されている。

Applied AIxプラットフォームはチャンバーAI(Chamber AI)、オンボード計測、インライン計測、Applied PRO、デジタルツイン、コンピューティングリソースなどで構成される。

チャンバーAI(Chamber AI)はApplied Materialsの工程チャンバーのための新しいセンサーとマシンラーニングアルゴリズムで、エンジニアたちに化学•エネルギー•圧力•温度•期間などの変数アナリティクスをリアルタイムで提供する。

AIxプラットフォームにはApplied Materialsの一部チャンバーとシステムのデジタルツインモデルが含まれる。
このデジタルツインモデルはレシピ開発を加速し、マッチングとランプ移転(ramp transfer)を向上し、量産結果と収率を最適化する。

半導体製品グループ副社長兼総括マネージャーのPrabu Raja氏は、“PPACtの時間(t)を短縮することは、半導体生態系すべての企業にとって最も重要な価値である″とし、“AIxは開発時間を半分に減らし、工程ウィンドウを3分の1に向上させることを目標で、Applied Materialsのすべての力量を新たな方式でつなげる」と述べた。

続いて、“Applied Materialsは業界の当面課題を解決する全く新しいツールキットをエンジニアたちに提供するためにAIxを開発してきた″と付け加えた。

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